Ультразвуковой увлажнитель состоит из бака на дне которого устанавливается пьезоэлектрический преобразователь, круглая керамическая пластина, который подключается к генератору высокочастотных колебаний.
В фазе когда пластина движется в низ, над преобразователем образуется зона разряжения. Создается эффект кавитации при котором образуются пузырки пара в воде в фазе когда пластина движется вверх , пузырки пара вытясняются наверх и взрываются на поверхности воды.
В результате колебаний пластины на поверхности воды образуются капли которые образуют очень мелкую аэрозоль с диаметром капель 3-5 мкм которая легко уносится потоком воздуха. Более крупные капли осаждаются на стенки и стекают обратно в бак.
Существенно влияет на производительность увлажнителя толщина слоя воды над пьезоэлектрическим преобразователем.